美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術規格 |
點擊次數:430 更新時間:2024-05-07 |
美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷為了大限度地提高工藝的重復性和一致性,現代等離子體應用需要精確的射頻功率調節和控制。射頻發生器的校準、調節和監控是確保射頻電源準確、可重復地向腔室輸送射頻電源的關鍵組成部分。當使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩定、低VSWR負載,用于快速和精確地測量發電機輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準時間不同,沒有必要進行負載熱身或重復性風險。這可以最小化與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。 美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術規格如下: 項目編號 8921SC13 項目名稱 5千瓦,超穩定,油電射頻終止載荷 功率等級 5千瓦 頻率范圍及VSWR 直流至28兆赫@最大1.1兆赫。 阻擋物 50 (nominal) Vswr穩定性 0-100%的穩定頻率功率 穩定頻率 13.56兆赫+10千赫 連接器 "QC" Type LC (Female) - normally supplied 互鎖熱開關-可選 一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放 熱開關等級 115伏,10a 溫度范圍 操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F) 高度 1520 m (5000 ft.) 潮濕 95%不凝結最大值。 冷卻法 石油介質和對流電流 尺寸 32.8" x 9.5" x 26.9" 重量 126 lbs. 結束 環氧樹脂 東莞市廣聯自動化科技有限公司專業供應進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產品。德國美國有公司,廠家一手貨源,詳請致電。 |